07.8tact-告白
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洋课长便立即站起身来面对大家:「各位同仁早安,晨会开始。崇平,辛苦你们了,请你先报告昨晚的机况和HotLot,机台主责人仔细听,会後PE下完and把签单传给OP领班,EE下FAB务必再做doublecheck,值大夜很累,赶快让人家回去休息,记住喔~挺彼此就是挺自己,动起来动起来!」虽然有听没有懂,但明快的节奏显然深得人心,会议很有效率地在十五分钟内结束。 由於炉管组人丁单薄,博洋课长决定亲自带我,我也很争气地迅速进入状况。原来,制程工程师在办公室透过各式远端装置的Monitor进行监控,确保产品通过机台後的SPEC规格能够在正常误差范围内,一旦发生alerm,整批产品连同FOUP装晶圆的容器就会被HOLD在机台里,如同坐霸王车的奥客令人伤透脑筋。 这种有问题的产品统称TroubleLot,数量少时还可暂时不理它,但是当奥客越来越多时,就会发生「塞车」的现象,尤其是研发部门有新制程要测试之际,如果好Si不Si挡到如同高阶将官座车的HotLot、甚至是SuperHotLot的话,就等着开会时被叮到满头包。 解决TroubleLot的教战守则叫做TroubleShooting,虽然被写成制式的SOP且人手一册,但其实很吃炉主机台主责人存乎一心的经验、胆量与运气;後两者不值一提,而经验法则显示,有一大半可以用电话对FAB无尘室里的OPC作员下达指令,请她们帮忙。 ──说得简单,个中眉角可不少。 人家OP也很忙,凭什麽要优先cH0U空来帮你?这时候